Beyaz Kaynaşmış Alümina Tanecik Boyutunun Yarı İletken Kuvars Ürünlerinin Kumlama Etkisi Üzerindeki Etkisi
1. İri Tane Boyutu (Beyaz Kaynaştırılmış Alümina F60/F80/F100)
Aşırı yüksek yüzey pürüzlülüğü
Büyük alümina taneleri güçlü bir darbe kuvveti uygulayarak, aşırı Ra değerine sahip kuvars yüzeylerde derin çukurlar ve pürüzlü dokular oluşturur. Bu durum, sonraki kaplama ve film katmanlarının yapışmasını zayıflatarak kolay soyulmaya ve dökülmeye yol açar.
Kuvars mikro çatlaklarına yatkın
İri tanelerin güçlü etkisi, ince duvarlı kuvars halkalar, flanşlar ve nozullar üzerinde kolayca görünmez mikro çatlaklara neden olur; bu çatlaklar, yarı iletken üretiminde yüksek sıcaklık çalışma koşulları altında doğrudan kırılır ve hurdaya çıkarılır.
Kalan tozun uzaklaştırılması zor.
Kaba kum, boşluklara yerleşen büyük kuvars parçacıkları ve aşındırıcı kalıntılar üretir. Bunlar, saf su ile ultrasonik temizleme ile tamamen temizlenemez ve bu da yarı iletken levha üretiminde metalik safsızlık kontaminasyonuna yol açar.
Yüzey kristal tabakasında ciddi hasar.
Yoğun yüzey tabakasının aşırı derecede soyulması, kuvars bileşenlerinin camsılaşmasını, beyazlamasını ve matlaşmasını hızlandırarak kullanım ömrünü önemli ölçüde kısaltır.
Kötü görünüm kalitesi
Pürüzlü ve düzensiz kumlanmış yüzey, yüksek hassasiyetli yarı iletken kuvars parçaları için gereken görünüm ve yüksek temizlik standartlarını karşılayamamaktadır.
2. Orta Tane Boyutu (Endüstri Standardı F150/F180/F220)
Düzgün ve kontrol edilebilir pürüzlülük
0,8 μm ile 2,5 μm arasında değişen Ra değerine sahip ince mat bir yüzey oluşturur ve istikrarlı yapışma gücüyle kaplama, yapıştırma ve sızdırma işlemlerine mükemmel uyum sağlar.
Oksit tabakasının ve termal hasar tabakasının ideal şekilde uzaklaştırılması
Kaynak ve yüksek sıcaklıkta pişirme sonucu oluşan bozulmuş katmanları, kuvars alt tabakaya zarar vermeden ve gizli çatlaklara neden olmadan hassas bir şekilde temizler.
Kolay toz alma
Yüksek saflıkta su ile ultrasonik temizleme yoluyla ince ve gevşek kalıntılar tamamen ortadan kaldırılabilir ve böylece yarı iletken endüstrisinin ultra yüksek temizlik gereksinimleri tam olarak karşılanabilir.
Minimum iç stres
Nazik ve eşit darbe dağılımı, toplu ürünlerde son derece tutarlı bir kumlama etkisi sağlar ve nitelikli ürün oranını en üst düzeye çıkarır.
Yenileme ve yeniden kullanım için en uygun seçim
Bu tane boyutu, mükemmel onarım etkisi ve düşük malzeme kaybıyla kullanılmış yarı iletken kuvars parçalarının yeniden işlenmesi için tercih edilir.
3. İnce Tane Boyutu (Beyaz Kaynaştırılmış Alümina F280/F320 ve W serisi Mikrotoz)
Zayıf safsızlık giderme kapasitesi
Yetersiz kesme kuvveti, inatçı oksit tabakalarını, koyu lekeleri ve sinterleme izlerini temizleyemez ve bu da son derece düşük çalışma verimliliğine yol açar.
Aşırı pürüzsüz yüzey
Yetersiz pürüzlülük, etkili bir yapışma yüzeyi oluşturamaz ve bu da yapıştırıcı ve püskürtme kaplamalarının kolayca ayrılmasına neden olur.
Kumlama süresi iki katına çıktı.
Aynı alan için daha yavaş işlem hızı, üretim verimliliğini düşürür ve üretim maliyetini artırır.
Aşındırıcıların kolayca topaklanması
Çok ince beyaz erimiş alümina nemi emme ve topaklanma eğilimindedir; bu da düzensiz kum çıkışına, işlenmemiş alanlara ve iş parçalarında düzensiz renk farklılığına yol açar.
Sadece ayna yüzey kaplaması için geçerlidir.
Bu yöntem yalnızca kuvars parlatma işleminden önce hafif bir matlaştırma işlemi için kullanılır, ana yüzey kumlama işlemi için kullanılmaz.
4. Karışık ve Uygun Olmayan Tane Boyutundan Kaynaklanan Yaygın Kalite Kusurları
- Düzensiz yüzey dokusu, belirgin ışık ve gölge renk farkı ve parti ürünlerinde tutarsız görünüm.
- İri tanelerin neden olduğu yerel çatlamalar ve ince tanelerin yetersiz temizliği, kusurlu ürün oranında keskin bir artışa yol açar.
- Yarı iletken atölyelerine aşırı miktarda artık safsızlık girmesi, gofret kirlenmesine ve üretim hatalarına yol açar.
- Kuvars ürünlerinin yüksek sıcaklık dayanımı ve termal şok direnci önemli ölçüde azalmıştır.
5. Yarı İletken Kuvars Ürünleri için Tane Boyutu Seçim Tablosu
| Kuvars Ürünleri | Önerilen Beyaz Kaynaştırılmış Alümina Tane Boyutu | Kalite Kontrol Amacı |
|---|---|---|
| Kalın duvarlı kuvars potalar ve geniş tabanlar | F120-F150 | Çatlama yapmadan hızlı kir temizliği |
| Kuvars halkalar, flanşlar ve wafer taşıyıcılar | F180-F220 | İnce mat yüzey, temiz ve çatlaksız. |
| Kuvars pencereler ve optik kuvars bileşenleri | F220-F280 | Işık geçirgenliğini koruyarak nazik kumlama işlemi. |
| Kullanılmış kuvars parçalarının yenilenmesi | F150-F180 | Kullanım ömrünü uzatmak için hafif onarım. |
6. Temel Sonuç
Yarı iletken kuvars kumlama işlemi için ne çok iri ne de çok ince tane boyutu uygundur. F180-F220 saflıkta yüksek saflıkta beyaz erimiş alümina, en uygun denge noktasıdır.
Yüzeydeki kirlilikleri ve hasarları tamamen ortadan kaldırabilir, yüzey pürüzlülüğünü sıkı bir şekilde kontrol edebilir, mikro çatlakları önleyebilir ve yarı iletken endüstrisinin yüksek temizlik standartlarına uyabilir. Kuvars ürünlerinin uzun ömürlü olmasını ve güvenli çip üretimini garanti eden en iyi tane boyutudur.