Alümina seramik alt tabaka, sert ve kırılgan bir elektronik seramiktir. Beyaz erimiş alümina tozunun kalitesi ve partikül boyutu ayarlanarak işlem iki aşamaya ayrılır: taşlama ve inceltme (kaba-orta-ince taşlama) ve son ayna cilalama. Başlıca ekipmanlar: çift taraflı taşlama makinesi, yüzey taşlama makinesi, CMP (Kimyasal Mekanik Düzleştirme) makinesi.
1. Taşlama ve İnceltme İşlemi (malzeme kaldırma ve düzleştirme, ayna cilalama yapılmamış)
Hidro-sınıflandırılmış WA α-Al₂O₃, korundum/alümina tozu olarak da bilinir. Alümina seramik alt tabaka cilalama için beyaz erimiş alümina
tozunun teknik özellikleri : Al₂O₃ ≥%99,5, Fe₂O₃ ≤%0,03, Na₂O ≤%0,18. Kenar kırılmalarını, mikro çatlakları ve çizikleri önlemek için sıkı partikül boyutu kontrolü ile hidrosedimantasyon sınıflandırması zorunludur. Alümina seramik alt tabaka parlatma için yaygın beyaz erimiş alümina tozu kaliteleri: Kaba taşlama: 320#, 360# — CNC takım izlerini giderir ve büyük malzeme inceltme sağlar Orta taşlama: 400#, 500# Yarı ince taşlama: 600#, 700#, 800# — ince mat yüzey elde eder, Ra 0,2-0,8 μm
2. Son Ayna Parlatma (taşlamadan sonra düşük Ra ayna yüzeyi)
Elmas parlatma bulamacı / elmas tozu: ana akım yüksek kaliteli çözüm. Sıralı tane boyutları: 1-3 μm → 0,5 μm → 0,1 μm. Yüksek malzeme kaldırma verimliliği ile Ra 0,01-0,05 μm elde edilir, ancak maliyeti daha yüksektir.
Ultra ince beyaz erimiş alümina tozu 2000#-8000#: orta-düşük seviye ayna yüzeyi, yarı ayna, mat-yüksek parlaklıkta yüzeyler için düşük maliyetli seçenek.
Silika solü (kolloidal silika) CMP bulamacı: yüksek kaliteli yarı iletken alt tabakalar için nano düzeyde ultra pürüzsüz yüzeyler için kimyasal-mekanik parlatma. Neredeyse hiç mekanik hasar yok, ancak düşük kaldırma oranı.
Seryum oksit parlatma tozu: nispeten düşük sertliğe ve alümina yüzeylerde zayıf kesme kuvvetine sahiptir. Alümina seramik yüzey parlatmasında nadiren kullanılır; esas olarak cam ve optik lenslerde uygulanır.
Alümina Seramik Yüzey Parlatma İşlem Akışı
: Kesme → 320# beyaz erimiş alümina ile kaba taşlama → Orta-ince taşlama (400# → 600#) → İnce taşlama (800#) → Elmas/silika solü ile ayna parlatma → Temizleme ve inceleme