Yarıiletken Çip Ekipmanlarının Paslanmaz Çelik Parçalarının Kumlama İşlemi için Beyaz Erimiş Alümina
Beyaz ergitilmiş alümina (kısaltması WFA), elektro-ergitilmiş alümina olarak da bilinir ve endüstride genellikle zımpara taşı olarak adlandırılır; ana kristal fazı α-Al₂O₃ olup Mohs sertliği 9’dur. Yarı iletken ekipmanlarının 304/316L paslanmaz çelik bileşenleri için özel bir kumlama aşındırıcısıdır.
Uygulanabilir iş parçaları: Yarı iletken vakum odaları, CF ultra yüksek vakum flanşları, wafer taşıyıcı halkaları, sızdırmazlık valfi göbekleri, test aparatları ve gaz boru hattı düzenekleri gibi hassas paslanmaz çelik bileşenler. Kumlama işleminin işlevleri: CNC işleme sonucu oluşan çapakları, kaynak noktalarını ve oksit tabakalarını gidermek; düzgün ve kontrol edilebilir mat ankraj desenleri elde etmek; sonraki taşlama, parlatma ve kaplama işlemleri için yüzey ön işlemi olarak hizmet etmek.
2. Yarı İletken Çip Ekipmanlarının Paslanmaz Çelik Parçalarının Kumlama İşlemi İçin Düşük Sodyumlu Yüksek Saflıkta Beyaz Erimiş Alüminyumun Temel Fiziksel ve Kimyasal Göstergeleri
- Al₂O₃ ≥ %99,5
- Fe₂O₃ ≤ 0,05%
- Na₂O ≤ 0,25% (alkali metal çökelmesinin neden olduğu kirlenmeyi azaltmak için düşük sodyumlu sınıf)
- SiO₂ ≤ 0,15%
Tane morfolojisi: Keskin kenarlı, eşit boyutlu taneler, iyi kendi kendini bileme performansı; patlatma sırasında tanelerin kırılmasıyla sürekli olarak yeni kesici kenarlar oluşur.
3. Yarı İletken Çip Ekipmanlarının Paslanmaz Çelik Parçalarının Kumlama İşleminde Kullanılacak Beyaz Erimiş Alümina İçin Kumlama Tane Boyutları
- Kaba kumlama (ağır kaynak izlerinin ve kalın oksit tabakalarının giderilmesi): F60, F80 / 60#, 80#
- Hassas mat püskürtme (yarı iletkenler için yaygın olarak kullanılır, ince ve düzgün mat yüzeyler sağlar): F100, F120, F180, F240 / 100#, 120#, 180#, 240#
Daha ince tane boyutları, daha düşük yüzey Ra değerleri ve daha ince dokular sağlayarak yüksek temizlik gerektiren vakum bileşenleri için uygun hale gelir.
4. Yarı İletken Çip Ekipmanlarının Paslanmaz Çelik Parçalarının Kumlama İşleminde Beyaz Erimiş Alüminyumun Temel Avantajları
-
Düşük kirlenme performansı : Ultra düşük demir içeriği, kumlama sonrası demir penetrasyonunu ve yüzey renk değişimini ortadan kaldırır ve yarı iletken çip üretim ortamlarında ağır metal kirliliğini önler. Malzeme mükemmel kimyasal inertlik ve asit ve alkali direnci sunar ve sonrasında ultrasonik temizleme, kalan aşındırıcı parçacıkları kolayca uzaklaştırır.Kontrol edilebilir yüzey dokusu : Keskin açılı taneler, düzgün ve kararlı mat ankraj desenleri oluşturur. Kullanıcılar, hedef Ra değerlerine göre eşleşen tane boyutlarını seçebilir ve ince duvarlı hassas paslanmaz çelik bileşenlerin aşırı aşınmasını önleyebilir.Aşınma direnci ve yeniden kullanılabilirlik : Yüksek sertlik ve dengeli tokluk, aşındırıcı tüketimini en aza indirir. Kum tanecikleri hem kuru hem de ıslak kumlama makinelerine uyum sağlar, tekrarlanan geri dönüşüm ve kumlama döngülerini destekler ve genel üretim maliyetlerini etkili bir şekilde azaltır.